Teledyne API SCI-552 臭氧發(fā)生器控制器介紹

SCI-552 是臭氧輸送系統(tǒng)的系統(tǒng)控制器，為許多典型系統(tǒng)組件提供電子控制接口，包括：臭氧發(fā)生器、EV 閥、質(zhì)量流量控制器、背壓控制器、Teledyne API 452 臭氧傳感器、Teledyne API 470 溶解臭氧傳感器和冷水機(jī)組。

SCI-552 具有硬件和軟件支持多種系統(tǒng)聯(lián)鎖功能。SCI-552 為更終用戶提供了靈活性，允許通過前面板用戶界面、MODBUS 串行接口或各種離散的數(shù)字和模擬 I/O 點(diǎn)控制系統(tǒng)。SCI-552 設(shè)計(jì)用于支持兩個(gè)臭氧發(fā)生器，提供兩個(gè)獨(dú)立的臭氧輸出通道。

特征

RS-232 MODBUS 遠(yuǎn)程支持

控制多達(dá) 2 個(gè)臭氧發(fā)生器

更多可連接 2 個(gè) 452 型和 470 型臭氧傳感器

控制多達(dá) 4 個(gè)質(zhì)量流量控制器

控制多達(dá) 2 個(gè)背壓控制器

控制多達(dá) 2 個(gè) EV 閥

控制冷水機(jī)組

系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入

遠(yuǎn)程系統(tǒng)級控制和狀態(tài) I/O

應(yīng)用

化學(xué)氣相沉積(CVD)

原子層沉積(ALD)

氧化物生長

表面處理

灰化

粒子清潔

光刻膠去除

其他